国内外研磨机行业现状浅析

    目前国内生产高速研磨机的厂家不少，但由于研磨加工的针对性较强，对不同的工件，研磨加工的方法也有很大的差别。所以人们研究开发出了许多专用的研磨机。我国在八十年代研究出来第一台PJM320型平面研磨机。曾获得国家科学大会奖。现在西安秦川发展有限公司生产的PJM320B就是以它为原型改进的。在光学加工中研磨又称精磨，所以研磨机也成为精磨机。目前还有南京仪机股份有限公司生产的PLM-400精密抛光机。以及我国台湾高钰精密有限公司生产的各种精磨机。其中平面精磨机有DL-380和CDL-600和VDL-900型号和双面研磨机有CDL-4B-4L和CDL-6B-6L及CDL-9B-5L等型号。其中COL-380型研磨机研磨精度高，可达到的平面度为0.2um-0.5um,表面粗糙度达Ra0.1um以下，它可加工各种材质。为提高加工效率人们研制出双面研磨机，如兰州东胜机械制造有限公司生产的DSL9B-5P型双面研磨机，它加工出的产品精度为10微米级，平面度及平行度在千分之一毫米。还有深圳宏达公司生产的双平面研磨机，其平行度及平面度也为千分之一毫米。球面高速研磨机按加工工件表面的曲率半径不同，分为大球面、中球面和小球面三种：其中Q875型高速研磨机和QJM-40小球面高速精磨机和QJM-100中球高速研磨机应用较为普遍。目前，国外高品质的研磨机床已实现系列化，而且加工精度已达到很高水平。如SPEEDFAM高速平面研磨机，具有粗研磨及精研磨的广泛研磨能力，能以短时间和低成本获得较高的平行度、平面度、以及表面粗糙度。即使不熟练的操作人员，亦能达到尺寸公差3um、平面度0.3um、平行度3um，表面粗糙度Ra0.2um以内的高精度加工水平。又如Takao NAKAMURA等人研制的硅片研磨机，可同时加工5片直径为125mm的硅片，当硅片厚度在500~515um时，经过24~30min的抛光，尺寸可达到480um,平均材料去除率0.51~0.57um/min。随着科技的进步和社会的发展,人们对加工精度的要求越来越高。加工技术水平也在不断提高，由原来的精密、超精密加工,发展到现在的纳米级加工。纳米级高效研磨加工技术主要采用固着磨料高速研磨加工方法。固着磨料高速研磨与传统的散粒磨料研磨不同，其磨料的密度分布是可控的。利用固着磨料研磨的这一特点，根据工件磨具间的相对运动轨迹密度分布，合理地设计磨具上磨料密度分布，以使磨具在研磨过程中所出现的磨损不影响磨具面型精度，从而显著提高工件的面型精度，并且避免修整磨具的麻烦。
    目前国内外生产的研磨机基本上都是中大型的。对于小型便携式高速研磨机的研究有限。而目前便携式的研磨机只有专门维修阀门的维修机具。目前国内外的高速研磨机的发展方向主要是进一步提高研磨加工质量和加工效率，提高研磨机的自动化程度，以减轻操作者的劳动强度。而对维修设备现场使用的便携式研磨机还没有人进行研究和开发。